睿勵(lì)科學(xué)儀器完成數(shù)億元B輪融資，資金主要用于豐富產(chǎn)品種類，加大市場(chǎng)開拓力度能力等

睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司（以下簡(jiǎn)稱「睿勵(lì)科學(xué)儀器」）近日完成數(shù)億元B輪融資，本輪融資由金石投資、招商致遠(yuǎn)領(lǐng)投，清控金信、河南資產(chǎn)、鼎青投資等資方跟投。

所融資金主要用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場(chǎng)開拓力度能力。

睿勵(lì)科學(xué)儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片制造工藝用的光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備。公司總部位于上海浦東新區(qū)，其團(tuán)隊(duì)成員多來(lái)自全球前兩位量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)和國(guó)內(nèi)知名光學(xué)技術(shù)公司，有18年產(chǎn)品開發(fā)和市場(chǎng)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。

睿勵(lì)科學(xué)儀器總經(jīng)理?xiàng)罘灞硎荆?/span>“非常感謝投資方的認(rèn)可與支持。我們將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)，進(jìn)一步豐富光學(xué)量測(cè)和光學(xué)缺陷檢測(cè)產(chǎn)品系列，為實(shí)現(xiàn)集成電路前道工藝檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化全面替代的目標(biāo)而努力。”他指出，未來(lái)，睿勵(lì)科學(xué)儀器將持續(xù)聚焦在光學(xué)量檢測(cè)領(lǐng)域，完善膜厚量測(cè)、OCD量測(cè)、缺陷檢測(cè)，開發(fā)包括OVL的其他光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備。

金石投資表示，半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展有賴于半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)和產(chǎn)品突破，量檢測(cè)是其中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。睿勵(lì)科學(xué)作為中國(guó)最早的一批量檢測(cè)設(shè)備公司，吸引了來(lái)自于國(guó)內(nèi)外的頂尖人才，堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新，聚焦光學(xué)技術(shù)，我們相信睿勵(lì)科學(xué)將繼續(xù)保持技術(shù)和產(chǎn)品領(lǐng)先，幫助先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代的突破和發(fā)展。

招商致遠(yuǎn)表示，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備面臨巨大的市場(chǎng)空間和國(guó)產(chǎn)替代機(jī)遇，也具有很高的壁壘。招商致遠(yuǎn)看好半導(dǎo)體量檢測(cè)賽道，期待睿勵(lì)科學(xué)憑借優(yōu)秀的團(tuán)隊(duì)和多年的技術(shù)積累和量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，成為該細(xì)分賽道的領(lǐng)導(dǎo)者。